通常使用的檢測器是一種電子倍增器，如下圖所示：

它的結(jié)構(gòu)類似于光電倍增管，由很多串聯(lián)的電極板構(gòu)成，這些電極稱為打拿極（dynode），每兩個(gè)打拿極都均勻分擔(dān)著外加的高壓。當(dāng)離子入射到第一個(gè)打拿極時(shí)，和電極碰撞，離子消失，同時(shí)產(chǎn)生了自由電子，電子在電場作用下向下一級電極板移動，并打出更多的電子，如此形成了倍增效應(yīng)。當(dāng)一個(gè)離子入射時(shí)，將最終在輸出端形成一個(gè)脈沖信號。
    檢測器通過對一定時(shí)間內(nèi)的脈沖信號的計(jì)數(shù)可以得到離子強(qiáng)度的相對值，檢測器工作在數(shù)字檢測方式。當(dāng)離子強(qiáng)度較大時(shí)，達(dá)到產(chǎn)生的電子脈沖互相重疊時(shí)，脈沖數(shù)目便無法計(jì)算了，即達(dá)到了飽和，此時(shí)檢測器可以切換到模擬檢測方式（累計(jì)信號），如下圖所示。

ICP-MS電子倍增器，動態(tài)線性范圍≥10個(gè)數(shù)量級；能夠滿足從亞ppt級到百分級濃度的測定；對于Na標(biāo)準(zhǔn)溶液濃度0、5000ppm、10000ppm建立的標(biāo)準(zhǔn)曲線，線性優(yōu)于0.999，軟件截圖如下：